SFC5400產(chǎn)品的核心是的.SensirionCMOSens®技術(shù)。它結(jié)合了很多具有先進(jìn)信號(hào)的精密傳感器元件,在單個(gè)芯片上處理從而提供一個(gè)校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償信號(hào)(見圖1)。感謝這種傳感器技術(shù), SFC5400獲得的速度評級,度和可重復(fù)性,非常有吸引力的系統(tǒng)成本。由于SFx5400具有出色的長期穩(wěn)定性,因此沒有需要重新校準(zhǔn)。 SFC5400提供快的建立時(shí)間和高控制范圍以及機(jī)械方面的高度靈活性。連接器和通信接口。數(shù)字版本還提供多個(gè)可選的智能功能氣體和范圍,氣體識(shí)別和自檢能力。SFM5400是基于該閥的無閥流量計(jì)SFC5400質(zhì)量流量控制器。它具有相同的功能,作為MFC的性能優(yōu)勢和配置沒有提供控制器功能的對應(yīng)物。 SFC5400產(chǎn)品實(shí)物圖:
數(shù)據(jù)表SFC5400 / SFM5400質(zhì)量流量控制器/氣體流量計(jì)數(shù)據(jù)表 - V14? - 超快建立時(shí)(低至50 ms)。?
- 出色的精度/可重復(fù)性(分別為設(shè)定值的0.8%/ 0.1%)
- 寬控制范圍(1000:1)。
- 廣泛的接口選擇:RS485,DeviceNet,IO-Link和模擬電壓/電流
- 廣泛的連接器選擇:下裝,世偉洛克,VCR,VCO,W-Seal
- 多種氣體和氣體識(shí)別
- NIST可溯源校準(zhǔn)
- MTBF169年
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